美国可能对华全面禁止ASML深紫外光刻机的销售与维护
美国正在考虑进一步限制对中国销售深紫外(DUV)光刻机,TrendForce的消息指出,这一措施可能会几乎全面禁止ASML面向中国的销售和维护服务。这一新禁令将超出现有的对极紫外(EUV)设备的限制,将DUV系统也纳入禁令之中,包括已经在中国晶圆厂安装的相关设备。目前,ASML向中国出售EUV光刻机已被禁止,但DUV设备的销售尚未受到影响。如果该禁令实施,中国的成熟制程DUV设备也将面临管制。
更为重要的是,关于维护的禁令尤其需要关注。目前中国晶圆厂的ASML DUV设备是多年来积累的生产能力,一旦停止维护和备件供应,这些设备的性能将随着时间的推移逐渐下降,相当于在没有新禁令的情况下被迫停止使用。这种做法与美国之前限制华为获取高级芯片的方式类似,当时对维护与升级的切断带来的影响不亚于最初的销售禁令。
分析认为,中国本土光刻机的研发进展是美国采取此行动的催化因素。北京正在加速自身DUV和EUV技术的研发,以实现半导体制造设备的自给自足。美国的这一举措旨在提前切断中国晶圆厂对外部设备的依赖,迫使其更早地转向还未在大规模生产中得到验证的国产替代方案。然而,目前尚不明确这项禁令的具体适用范围和时间表,TrendForce并未详细说明涉及哪些DUV型号,也没有确认禁令是否针对已安装的设备。
此外,报道没有指明相关的美国机构或具体政策文件。目前可以确认的只是,政策方向正趋向收紧,而非放松。接下来需要关注的是美国是否会正式发布相关政策公告或行政命令。在此时,ASML尚未对此报道作出公开回应。